Pengaruh Waktu Pra-etching dan Ketebalan Film pada Residual Stress dari Thin Film Aluminium Nitrida pada Sensor Magnetoelektrik. (2019). Jurnal Nasional Pengelolaan Energi MigasZoom, 1(1), 61-72. https://doi.org/10.37525/mz/2019-1/229