“Pengaruh Waktu Pra-Etching Dan Ketebalan Film Pada Residual Stress Dari Thin Film Aluminium Nitrida Pada Sensor Magnetoelektrik”. 2019. Jurnal Nasional Pengelolaan Energi MigasZoom 1 (1): 61-72. https://doi.org/10.37525/mz/2019-1/229.