“Pengaruh Waktu Pra-etching dan Ketebalan Film pada Residual Stress dari Thin Film Aluminium Nitrida pada Sensor Magnetoelektrik” (2019) Jurnal Nasional Pengelolaan Energi MigasZoom, 1(1), pp. 61–72. doi:10.37525/mz/2019-1/229.