Pengaruh Waktu Pra-etching dan Ketebalan Film pada Residual Stress dari Thin Film Aluminium Nitrida pada Sensor Magnetoelektrik. migaszoom [Internet]. 2019 Jun. 18 [cited 2026 Jun. 6];1(1):61-72. Available from: https://dev-ejurnal.ppsdmmigas.id/sp/index.php/migaszoom/article/view/229